Introdução aos sensores de pressão

Sensor de pressão é um dispositivo ou dispositivo que pode detectar o sinal de pressão e converter o sinal de pressão em um sinal elétrico de saída disponível de acordo com uma determinada lei.

O sensor de pressão geralmente consiste em um elemento sensor de pressão e uma unidade de processamento de sinal. Os sensores de pressão podem ser divididos em sensores de pressão manométrica, sensores de pressão diferencial e sensores de pressão absoluta.

O sensor de pressão é o sensor mais comumente usado na prática industrial, amplamente utilizado em uma variedade de ambientes de controle automático industrial, envolvendo conservação de água, energia hidrelétrica, tráfego ferroviário, edifícios inteligentes, controle automático de produção, aeroespacial, militar, petroquímico, poços de petróleo, energia elétrica , navios, máquinas-ferramentas, oleodutos e outras indústrias. Aqui estão alguns princípios comuns de sensores e suas aplicações. Há também um sensor de pressão médica.

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O sensor de pressão é um dos sensores mais utilizados. O sensor de pressão tradicional é principalmente um dispositivo de estrutura mecânica, a deformação do elemento elástico indica a pressão, mas o tamanho estrutural é grande, a massa é pesada e a saída elétrica não pode ser fornecida. Com o desenvolvimento da tecnologia de semicondutores, também surgiram sensores de pressão semicondutores. É caracterizado por tamanho pequeno, peso leve, alta precisão e boas características de temperatura. Especialmente com o desenvolvimento da tecnologia MEMS, os sensores semicondutores evoluíram para miniaturização, baixo consumo de energia e alta confiabilidade.

1. Transmissor de pressão de silício de difusão.

Os transmissores de pressão de silício difuso são fabricados através do empacotamento de elementos piezoresistivos sensíveis à pressão de silício isolados em um invólucro de aço inoxidável. Ele pode converter a pressão percebida de líquido ou gás em uma saída elétrica padrão.

2. Tipo piezoresistivo semicondutor.

O sensor de pressão de difusão de impedância piezoelétrica semicondutor forma uma pressão de deformação do semicondutor na superfície do wafer e deforma o wafer por força externa (pressão), resultando em um efeito de impedância piezoelétrica e converte a mudança de impedância em um sinal elétrico.

3. Tipo de capacidade eletrostática.

O sensor de pressão de capacidade eletrostática deve formar uma capacitância entre o pólo fixo de vidro e o pólo móvel de silício e converter a mudança de capacidade eletrostática causada pela deformação do pólo móvel em um sinal elétrico.